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ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應

ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應
渦輪分子泵，帶有使用磁懸浮軸承的獨立控制器。我們有抽速為300~4000 L/s 的型號陣容?？刂破鲉卧梢员O(jiān)控運行狀態(tài)并支持各種通信標準。

  • 產(chǎn)品型號：UTM-MS
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2025-05-16
  • 訪  問  量：476
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產(chǎn)品詳情
品牌ULVAC/日本愛發(fā)科價格區(qū)間2千-5千
產(chǎn)地類別進口應用領域化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,建材/家具,綜合
供貨號137.1702.5688

ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應

ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應


特點

  • 泵體和控制器分開。控制器可以監(jiān)控運行狀態(tài)并支持各種通信標準。

  • 自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統(tǒng)裝置的設計更靈活。

  • 排氣速度300L/s～4000L/s的型號陣容。

  • 分子泵轉(zhuǎn)速在25-100%范圍內(nèi)可變。通過改變轉(zhuǎn)速在腔室中實現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)。

  • 高耐用性和安全性。通過了大氣沖擊試驗、急停測試等各種安全性確認試驗。

用途

  • 各種設備的主真空排氣系統(tǒng)

    - 半導體制造設備
    - 蒸鍍設備
    - 濺射設備
    - 研究開發(fā)設備
    - 分析設備、實驗裝置等

    • 主真空泵系統(tǒng)，用于不產(chǎn)生副反應生成物的輕工藝產(chǎn)線的真空系統(tǒng)。

    • 其他的高真空排氣系統(tǒng)。

    規(guī)格

    表格1
    模型UTM300A-MSUTM400A-MSUTM800A-MSUTM1000A-MS
    進氣口VG100 / ICF152VG150 / ICF203VG200 / ICF253
    出線口KF25KF40
    冷卻方式水冷
    		風冷
    		水冷
    		風冷
    		水冷
    		風冷
    		水冷
    		風冷
    極限壓力*1帕10 -710 -8
    抽速*2氮氣升/秒3204208001080
    氬氣升/秒ー
    他升/秒340360800930
    氫2升/秒320340700790
    壓縮率氮氣1×10 9
    他8×10 4
    氫21×10 44×10 3
    最大入口壓力*3帕2001.32001.34001.34001.3
    最大出口壓力*3帕40040400406654066540
    旋轉(zhuǎn)速度轉(zhuǎn)速4500035000


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